智造未来:大连东软信息学院微纳技术联合实验室正式启用

2025-03-11 09:26:28未来网

3月初,大连东软信息学院与微纳制造领域领军企业青岛天仁微纳科技有限责任公司共建的天仁微纳技术联合实验室正式启用。实验室位于软件园校区A2座109a室,作为东北地区首个致力于纳米压印技术研究与人才培养的产教融合创新平台,采用“产业级设备+教学级场景”的协同创新模式,标志着学校为半导体产业变革注入教育新动能。

青岛天仁微纳科技捐赠的纳米压印设备,采用了光刻工艺的革命性突破技术——新一代纳米压印技术,为第三代半导体、柔性电子等前沿领域提供颠覆性解决方案,具备三大显著优势:一是精度革命,突破光学衍射极限,实现5nm以下制程精度;二是效能跃升,降低70%以上工艺能耗;三是效率提升:单次转印效率提升300%。

据介绍,此次双方共建联合实验室,有力支撑了《半导体制造工艺实践》《微机电系统》《微纳制造技术与设备》《微电子技术综合实训》实验实践项目教学;深化“产、学、研”合作,将企业产线设备转化为教学仪器,实现了实践教学场景升级;打造“教学实验→技术研发→小批量生产”的全链条生态,持续向国内龙头企业培养、输送高端技术人才,助力中国半导体产业突破“卡脖子”困局。(通讯员:孟萍)

编辑:郭超 作者:
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